Předmětem veřejné zakázky je vakuový depoziční systém, který bude obsahovat čerpání pro dosažení vakua řádu jednotek 10-7 mbar či lepší, měření vakua, kontrolní systém, systém pro práci v definované atmosféře, měření in-situ tloušťky připravovaných tenkých vrstev, zařízení pro výměnu substrátů, systém pro instalaci substrátů s kontrolou teploty ...