ID poptávky: 68116, počet zhlédnutí: 367
Vybavení komry RFPACVD
Předmětem veřejné zakázky je modernizace zařízení fungující na základě metody RF PACVD (ang. Radio Frequency Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition). Toto zařízení umož-ňuje vytváření tenké vrstvy procesem krystalizace z plynné fáze za pomocí chemické reakce (rozkladu plynu) ve vysokofrekvenčním elektrickém poli. Parametry RF výboje jsou závislé na pracovním tlaku, záporném napětí a na druhu plynu. V závislosti na druhu použitého plynu vakuový reaktor s RF výbojem umožňuje vytváření různých typů vrstev. Použití methanu umožňuje pomocí této metody vytváření uhlíkových vrstev.
Máte-li zájem o nejnovější poptávky a další nadstandardní služby, staňte se
klientem Evropské databanky